hpj1000 发表于 2005-6-6 16:29

求教有关面形精度的问题

各位老师:
     您们好!
     我是这方面彻底的文盲,但今天一个客户跟我提这个东西,所以还在这里求教一下各位几个最基础的问题.
     1.面形精度的定义,怎么样评定它,可以用那种设备来评定?
     2.客户跟我提到了用微弧度来度量,请问可否转化为尺寸如微米\纳米表示?
     3.用PV评定是什么意思呢?我知道一个跟波长相关,还有其他什么吗?

     还请各位老师不吝赐教.可以留言或相关网址.
    非常感谢您!

lymex 发表于 2005-6-7 00:48

我来抛砖引玉。
1、精度一般定义为与理想面的偏离值,单位用波长来表示,分RMS和PV。
2、这个好像不行,单位不一样
3、PV应该是最大差别值(Peak Value)。RMS是方均根值。

hpj1000 发表于 2005-6-7 09:45

感谢Lymex的回复!另外请问大家,微弧度是怎么度量面形精度的呢?比如,PV是最大差别值(Peak Value)。RMS是方均根值。那微弧度是怎样的值呢?

谢谢!!

hpj1000 发表于 2005-6-7 15:49

再请教一个问提.PV用多少波长来表示,是指的光的波长吗?哪种光的波长呢?还是指其他的波长?

hpj1000 发表于 2005-6-7 15:50

再请教一个问题.PV用是多少波长来表示,是指的光的波长吗?哪种光的波长呢?还是指其他的波长?
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