用激光球面干涉仪直接检测一个抛物面

自从做了激光干涉仪之后，一直想用它检测抛物面。
测量抛物面精确的PV值。
可是实践证明，在我目前的检测环境下。激光干涉仪检测远不如刀口仪检测的灵敏度高，也不如刀口仪可靠！

最近为一个朋友磨制了一个200/2000抛物面。
用刀口仪和平面镜做自准直检测，精度非常高，（只有中心15mm直径有一点凹，中间检测不到到，由于用抛物面检测，平面镜中间有30mm开孔）。
几乎看不到误差。
在光线二次在抛物面反射的情况下。用PL4目镜观测针孔成像，可以清晰的看清8微米的细节（200/2000抛物面艾利斑12微米）。
所以我估计这个抛物面的 精度在1/20以上。

用了4-5个小时调整激光干涉仪。数码相机。
拍了几十张图。
只有几张清晰可用。

用FingureXP软件计算这个激光干涉图。

可以看到镜面PV1/20左右，波前 PV1/10，RMS 5.22nm
但是50nm的球差被它搞没有了。
这50NM的球差在球心处用刀口仪检测时明显的。
在这个软件计算的结果中没有了。

分析一下原因：
1）空气的流动影响。
在用刀口仪检测时，同样有空气流动影响，但是我们用眼睛观测，会自动过滤这种干扰。
用数码相机拍激光干涉图。就不能自动消除空气流动的影响了。
2）震动的影响始终无法消除。
由于轻微的震动始终无法消除，干涉条纹一直在抖动，抖动的幅度在0.5--1个条纹。
3）傻瓜数码相机，无法准确对焦。
拍出的激光干涉图不清晰。看不到镜子的边缘。
4）条纹的宽度严重影响计算的精度。
同一个镜子，调出的条纹越少，软件计算的精度越高。
我做了不是十分精确的实验。4-6个条纹计算的精度1/20波长,15--20个条纹计算的精度只有1/5波长左右。

所以我认为。在没有严格恒温，严格隔震的条件下。
用激光干涉仪检测镜子的PV值，是不可靠，不现实的！！

很。。。很、、、  很V5！！！！！！！！！！

相机没有MF功能吗？有的DC是有的。我的DC就有MF和全手动功能，MF的时候还可以显示对焦距离是多远，非常方便。

回复 9# zhangkefeiwh

这的确是个问题啊。王师傅说的固然有理，空气抖动和振动影响测量。不过尚未有说明为什么刀口仪的测量结果就更准确呢？比较的基准是什么？

不懂！有技术的真不懂

LZ!!!!!! !!!!!!太深奥了

回复  zhangkefeiwh

这的确是个问题啊。王师傅说的固然有理，空气抖动和振动影响测量。不过尚未有说明为 ...
longyun 发表于 2011-6-7 16:49

                               
登录/注册后可看大图

    王师傅帖子里提到过了，刀口仪是用人眼实时观察的，会自动消除图像的轻微抖动

对于DC而言，除了对焦不准，是否DC自身的相差也会影响计算结果呢？

等我DIY是也到王师傅那买镜子啊。
到时给我磨个1/40的，哈哈

等我DIY是也到王师傅那买镜子啊。
到时给我磨个1/40的，哈哈
久祥 发表于 2011-6-7 22:38

                               
登录/注册后可看大图

    1/40 你很有想法

回复  zhangkefeiwh

这的确是个问题啊。王师傅说的固然有理，空气抖动和振动影响测量。不过尚未有说明为 ...
longyun 发表于 2011-6-7 16:49

                               
登录/注册后可看大图

刀口仪检测反射镜不需要基准。
干涉仪检测，需要基准。

刀口仪比干涉仪简单、方便、可靠。

楼主的干涉仪是自己做的吗？