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用激光球面干涉仪直接检测一个抛物面

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苏鲁锭 发表于 2011-6-6 23:51 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自: 中国–江苏–盐城 电信

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自从做了激光干涉仪之后,一直想用它检测抛物面。
测量抛物面精确的PV值。
可是实践证明,在我目前的检测环境下。激光干涉仪检测远不如刀口仪检测的灵敏度高,也不如刀口仪可靠!
 楼主| 苏鲁锭 发表于 2011-6-6 23:51 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–盐城 电信
最近为一个朋友磨制了一个200/2000抛物面。
用刀口仪和平面镜做自准直检测,精度非常高,(只有中心15mm直径有一点凹,中间检测不到到,由于用抛物面检测,平面镜中间有30mm开孔)。
几乎看不到误差。
在光线二次在抛物面反射的情况下。用PL4目镜观测针孔成像,可以清晰的看清8微米的细节(200/2000抛物面艾利斑12微米)。
所以我估计这个抛物面的 精度在1/20以上。
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 楼主| 苏鲁锭 发表于 2011-6-6 23:52 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–盐城 电信
用了4-5个小时调整激光干涉仪。数码相机。
拍了几十张图。
只有几张清晰可用。
DSC06205.JPG
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 楼主| 苏鲁锭 发表于 2011-6-6 23:53 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–盐城 电信
用FingureXP软件计算这个激光干涉图。
A.jpg
B.jpg
C.jpg
D.jpg
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 楼主| 苏鲁锭 发表于 2011-6-6 23:54 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–盐城 电信
本帖最后由 苏鲁锭 于 2011-6-7 09:24 编辑

可以看到镜面PV1/20左右,波前 PV1/10,RMS 5.22nm
但是50nm的球差被它搞没有了。
这50NM的球差在球心处用刀口仪检测时明显的。
在这个软件计算的结果中没有了。
E.JPG
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 楼主| 苏鲁锭 发表于 2011-6-6 23:55 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–盐城 电信
本帖最后由 苏鲁锭 于 2011-6-7 09:25 编辑

分析一下原因:
1)空气的流动影响。
在用刀口仪检测时,同样有空气流动影响,但是我们用眼睛观测,会自动过滤这种干扰。
用数码相机拍激光干涉图。就不能自动消除空气流动的影响了。
2)震动的影响始终无法消除。
由于轻微的震动始终无法消除,干涉条纹一直在抖动,抖动的幅度在0.5--1个条纹。
3)傻瓜数码相机,无法准确对焦。
拍出的激光干涉图不清晰。看不到镜子的边缘。
4)条纹的宽度严重影响计算的精度。
同一个镜子,调出的条纹越少,软件计算的精度越高。
我做了不是十分精确的实验。4-6个条纹计算的精度1/20波长,15--20个条纹计算的精度只有1/5波长左右。
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 楼主| 苏鲁锭 发表于 2011-6-6 23:56 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–盐城 电信
所以我认为。在没有严格恒温,严格隔震的条件下。
用激光干涉仪检测镜子的PV值,是不可靠,不现实的!!
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放星 发表于 2011-6-7 00:00 | 显示全部楼层 来自: 中国–福建–莆田 电信
很。。。很、、、  很V5!!!!!!!!!!
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zhangkefeiwh 发表于 2011-6-7 00:02 | 显示全部楼层 来自: 中国–湖北–武汉 联通
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wlbx 发表于 2011-6-7 00:11 | 显示全部楼层 来自: 中国–广西–柳州 电信
相机没有MF功能吗?有的DC是有的。我的DC就有MF和全手动功能,MF的时候还可以显示对焦距离是多远,非常方便。
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longyun 发表于 2011-6-7 16:49 | 显示全部楼层 来自: 中国–湖北–武汉 中国科学院武汉物理与数学研究所
回复 9# zhangkefeiwh

这的确是个问题啊。王师傅说的固然有理,空气抖动和振动影响测量。不过尚未有说明为什么刀口仪的测量结果就更准确呢?比较的基准是什么?
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woaimalio 发表于 2011-6-7 17:01 | 显示全部楼层 来自: 中国–内蒙古–乌兰察布 联通
不懂!有技术的真不懂
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柔情双鱼座 发表于 2011-6-7 20:25 | 显示全部楼层 来自: 中国–云南–红河哈尼族彝族自治州–元阳县 电信
LZ!!!!!! !!!!!!太深奥了
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目标柏林 发表于 2011-6-7 22:35 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–南京 电信



    王师傅帖子里提到过了,刀口仪是用人眼实时观察的,会自动消除图像的轻微抖动
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目标柏林 发表于 2011-6-7 22:37 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–南京 电信
对于DC而言,除了对焦不准,是否DC自身的相差也会影响计算结果呢?
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久祥 发表于 2011-6-7 22:38 | 显示全部楼层 来自: 中国–黑龙江–齐齐哈尔 联通
等我DIY是也到王师傅那买镜子啊。
到时给我磨个1/40的,哈哈
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aixu 发表于 2011-6-8 07:31 | 显示全部楼层 来自: 中国–辽宁–铁岭 联通
等我DIY是也到王师傅那买镜子啊。
到时给我磨个1/40的,哈哈
久祥 发表于 2011-6-7 22:38



    1/40 你很有想法
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 楼主| 苏鲁锭 发表于 2011-6-8 21:16 | 显示全部楼层 来自: 中国–江苏–盐城 电信
回复  zhangkefeiwh

这的确是个问题啊。王师傅说的固然有理,空气抖动和振动影响测量。不过尚未有说明为 ...
longyun 发表于 2011-6-7 16:49

刀口仪检测反射镜不需要基准。
干涉仪检测,需要基准。
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yzy_km 发表于 2011-6-9 17:59 | 显示全部楼层 来自: 中国–云南–昆明 电信
刀口仪比干涉仪简单、方便、可靠。
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robinyuan 发表于 2011-6-17 12:10 | 显示全部楼层 来自: 中国–广东–佛山 电信
楼主的干涉仪是自己做的吗?
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