自制激光干涉测试仪初测D114F450球面镜--附DIY结构图

1.研究了好几周，买了分光棱镜，终于将激光干涉仪架上了二轴平台，调试出干涉图。将几年前买的D114F450球面镜做了个测试，结果如下。 没三轴平台相当难调，只要很少又粗的条文出现，表示这个东东基本调准了，密线图分析不准确，粗图精度提高一倍。普通三轴滑台无法用了。因为太敏感，手放在镜子下面的热量足以让条文波动

老外DIY的图借用参考下： 。
我最近 调试与分析软件的报告图。该检测对检测环镜与部件要求很高。噪音都会影响条文的变化。检测供DIY实验参考。个人DIY实用性与准确度未知！！！！！特别提醒！！！！。

这个检测报告怎么看

就是说精度有1/2.29波长吗？

高山仰止

厉害，请问干涉仪成本多少钱？

stream80 发表于 2015-4-4 20:52
厉害，请问干涉仪成本多少钱？

全套1000元搞得掂，验证的话，不加光学三轴平台的话，减半，只为了试验一下看条文，，再减半，只是没XYZ三轴平台调试麻烦。光学部件都是N百一个。移动平台可以自己造精度不高的

泽尔尼克系数是自己编程写的？

江湖洋 发表于 2015-4-4 20:59
全套1000元搞得掂，验证的话，不加光学三轴平台的话，减半，只为了试验一下看条文，，再减半，只是没XYZ ...

求部件清单及淘宝链接

这是老外做的。TB找，5元红色激光，最好用工业激光器，耐用些。，加立方体分光棱镜，加双凸镜10MM-F10.加小反光镜。用光学级的。组合起来光路调好就可看到条文啦。测出精度实不实用无法判断。仅供实验参考。分析软件下FRINGE XP 或OPEN FRINGE 两软件分析出结果差别比较大。

待使用成熟，可以鉴定一下国产的镜子到底精度如何？！希昭示天下，以提促质量。

能得到稳定的干涉图很不容易，顶顶！

下午分析了一下光路，发现会引入一个相对固定的物距像距差，如果在此基础上，用两个反射镜，可以基本消除物距像距差，如下图：
方案没有仔细推敲，如有错误，敬请指正。

c360 发表于 2015-4-18 21:31
下午分析了一下光路，发现会引入一个相对固定的物距像距差，如果在此基础上，用两个反射镜，可以基本消除物 ...

不明觉历，我只是照着老外的文档DIY，没研究那么透，不过老外说了，这个结构有大约会有将近10分一波长的散光，因为是共浴光路。有兴趣的可以在网上找下BATH INTERFREMETER这个字看下老外的原文。老外DIY这种结构的以德国爱好者为主。这结构看激光条文还是比较容易的。没什么难度，只是熟练度而已。我最原始的实验就是一块手机屏幕玻璃做分光镜，用了最普通的凸透镜，与反光镜，照样可以调出条文来。

又找到一个自准直球面干涉仪的光路：
1. 参考光路和检测光路不完全重合，但是光程差很小，所以可以用二极管激光器。
2. 减小了立方分光镜引入的球差。

自准直球面干涉仪